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四川省海創電氣有限責任公司
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UM（單極脈沖磁控濺射電源）：具有平均電流穩流功能，適用于金屬、合金及石墨等靶材鍍制純金屬膜、碳膜和部分氧化物、氮化物及碳化物膜。能明顯改善靶面電荷積累現象，減少濺射靶表面的打火次數，提高膜層質量。
U系列脈沖電源采用****的高頻逆變技術，體積小，重量輕，效率高。具有自動滅弧功能。廣泛應用于真空鍍膜、等離子體應用等領域。提供多種控制接口，方便客戶實現自動控制系統的開發應用。
用途 ：● 真空鍍膜 ● 特殊定制 |
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U系列 |
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電源功率范圍 |
5-100kW |
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輸入電壓 |
AC380V±5%,50Hz |
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輸出波形 |
單極性脈沖 |
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電源種類 |
磁控賤射電源 |
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偏壓電源 |
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離子源 |
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工作方式 |
恒流 |
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恒壓 |
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輸出穩定率 |
1%F.S |
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輸出頻率 |
40 kHz 、60 kHz 80kHz |
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輸出占空比 |
10%~80% |
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輸出電壓范圍 |
50-1200V |
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輸出電流范圍 |
5-100A |
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輸出接口 |
模擬0-5V或0-10V
RS485通訊 |
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通訊協議 |
MODBUS | |
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