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四川省海創電氣有限責任公司
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BSM（中頻磁控濺射電源）：適用于中頻孿生靶磁控濺射金屬或非金屬材料，特別適合于反應磁控濺射鍍制ITO膜、介質膜等。本電源能增加離化率，減少電荷積累引起的異常放電，預防靶表面中毒現象。
B系列雙極性電源采用****的高頻逆變技術，體積小，重量輕，效率高。廣泛應用于真空鍍膜、感應加熱、輝光清洗等領域。提供多種控制接口，方便客戶實現自動控制系統的開發應用
用途 ：● 真空鍍膜 ● 感應加熱 ● 輝光清洗 ● 特殊定制 |
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B系列 |
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電源功率范圍 |
5-100kW |
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輸入電壓 |
AC380V±5%, 50Hz |
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輸出波形 |
BS對稱雙極性脈沖 |
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BA非對稱雙極性脈沖 |
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電源種類 |
中頻磁控賤射電源 |
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微弧氧化電源 |
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工作方式 |
恒流 |
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恒流、恒功率 |
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恒壓、恒流、恒功率 |
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輸出穩定率 |
1%F.S |
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輸出頻率 |
20 kHz、40kHz 【注】 |
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輸出占空比 |
80% 【 注1 】 |
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輸出電壓范圍 |
200-1000V |
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輸出電流范圍 |
5-200A |
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輸出接口 |
模擬0-5V或0-10V
RS485通訊 |
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通訊協議 |
MODBUS | 【注】微弧氧化電源頻率為200Hz-2000Hz，其峰值電流可達到1000A
【注1】微弧氧化電源占空比可調。 |
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