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四川省海創(chuàng)電氣有限責任公司 座機電話:028-83816322 傳真:028-61905836 商務手機:13036694237(王先生)18980049103(歐先生) 咨詢QQ:249428067 電子郵箱:24942867@qq.com 微信號:18980049103 地址:四川省成都市雙流縣西航港經(jīng)濟開發(fā)區(qū)騰飛7路569號 |
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BSM(中頻磁控濺射電源):適用于中頻孿生靶磁控濺射金屬或非金屬材料,特別適合于反應磁控濺射鍍制ITO膜、介質膜等。本電源能增加離化率,減少電荷積累引起的異常放電,預防靶表面中毒現(xiàn)象。 B系列雙極性電源采用****的高頻逆變技術,體積小,重量輕,效率高。廣泛應用于真空鍍膜、感應加熱、輝光清洗等領域。提供多種控制接口,方便客戶實現(xiàn)自動控制系統(tǒng)的開發(fā)應用 用途 :● 真空鍍膜 ● 感應加熱 ● 輝光清洗 ● 特殊定制 |
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B系列 |
電源功率范圍 |
5-100kW |
輸入電壓 |
AC380V±5%, 50Hz |
輸出波形 |
BS對稱雙極性脈沖 |
BA非對稱雙極性脈沖 |
電源種類 |
中頻磁控賤射電源 |
微弧氧化電源 |
工作方式 |
恒流 |
恒流、恒功率 |
恒壓、恒流、恒功率 |
輸出穩(wěn)定率 |
1%F.S |
輸出頻率 |
20 kHz、40kHz 【注】 |
輸出占空比 |
80% 【 注1 】 |
輸出電壓范圍 |
200-1000V |
輸出電流范圍 |
5-200A |
輸出接口 |
模擬0-5V或0-10V
RS485通訊 |
通訊協(xié)議 |
MODBUS | 【注】微弧氧化電源頻率為200Hz-2000Hz,其峰值電流可達到1000A 【注1】微弧氧化電源占空比可調。 |
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